Страна: КНР
Картридж: Масляный
Фланец на входе: DN160 CF, DN160 ISO-K
Фланец на выходе: ISO-KF DN40
Скорость откачки: N2 - 600 л/с
Коэффициент сжатия: N2 - 10^9
Предельное давление: Для CF 6×10-7 Pa Для ISO K 6×10-6 Pa
Макс. Постоянное форвакуумное давление: 240
Макс. Форвакуумное давление: N2 - 350 Пa
Скорость вращения: 27000 об/мин
Время разгона: 7 мин
Охлаждение: водяное или воздушное
Температура охлаждающей воды: 25
Форвакуумный насос: 4-8 л/с
Вес: 30 кг
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3002E
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3260
Время выхода на режим, мин: 10
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-160/700E ISO-K 160 (водяное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 700
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-9
Время выхода на режим, мин: 7
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5