- Быстрота действия: 1400 л/с по воздуху
- Входной фланец: 200 ISO-K (LF)
200 ISO-F
200 ISO-CF
- Выходной фланец: KF-40
- Степень сжатия: для N2 10^7
- Предельное давление 2х10^-6 Па
- Магнитный подшипник
- Скорость вращения ротора 33000(об/мин)
- Время старта - 6 мин
- Уровень вибрации на фланце: менее 0,05 мкм
- Рекомендуемый форвакуумный насос - 15 л/с
- Тип охлаждения: водяной
- Позиция установки: любая
- Вес 51 кг
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5